세계 최대 반도체 노광장비(극자외선을 이용해 반도체를 생산하는 장비) 기업인 네덜란드 에이에스엠엘(ASML)이 화성 동탄에 첨단 극자외선(EUV) 클러스터 조성에 2400억원을 투자한다.

오병권 경기도지사 권한대행, 서철모 화성시장, 피터 베닝크(Peter Wennink) 에이에스엠엘 CEO, 이우경 에이에스엠엘 코리아 대표는 18일 화성시 석우동 ASML코리아에서 이같은 내용을 담은 투자협약을 체결했다.

ASML은 지난 5월 13일 산업통상자원부의 K-반도체 전략회의 행사에서 경기도 내 투자계획을 밝힌 바 있으며, 부품 재제조 시설(리페어센터)과 교육센터(트레이닝센터), 체험관 등을 집적화한 클러스터 조성에 약 2,400억 원을 투자할 계획이다.

ASML코리아는 오는 2024년 동탄2 도시지원시설 용지 약 1만6,000㎡ 부지에 1,500명 수용이 가능한 클러스터에 입주할 예정이다. 이와 함께 교육센터 운영을 확대해 국내·외 장비 전문가 교육은 물론, 지역 내 학생들을 대상으로 반도체 체험 센터, 과학캠프, 산학연구지원 등 활발한 교육·연구지원 활동을 추진할 방침이다.

앞서 정부는 지난 5월 K-반도체 추진전략을 발표, 반도체 공급망 안정화 대책으로 단기간 추격이 어려운 최첨단 기술 분야(노광, 식각, 소재) 적극 유치와 ASML 트레이닝센터 유치 중요성을 언급한 바 있다.

경기도와 화성시는 ASML코리아의 투자가 성공적으로 실행되도록 관련 인허가 등 행정 지원에 적극 협력하고, 산학 연계 및 소부장 국산화 등을 적극 지원하기로 했다.

한편 ASML은 1984년 네덜란드 벨트호벤에서 30여명으로 시작해, 2021년 현재 전 세계 16개국에 3만 명 직원과 연간 19조 원 매출을 기록하는 세계 최대의 반도체 장비 회사다.

/최인규 기자 choiinkou@incheonilbo.com