삼성전자가 반도체 공정에 일본산 불화수소 대체제로 국산품 등을 일부 투입했다.
일본 정부가 지난 7월 초 반도체 핵심소재 3개 품목에 대한 한국 수출 규제에 나선 지 약 한 달 반 만이다.
4일 업계에 따르면 삼성전자는 최근 일부 공정에 일본산 대신 국내 업체가 생산한 고순도 불화수소를 투입했다. 민감도가 낮은 공정부터 점진적으로 확대한다는 계획이다. 투입된 불화수소에는 국내 솔브레인과 이엔에프테크놀로지 등에서 제조한 제품도 포함된 것으로 전해졌다.

포토레지스트, 폴리아미드와 함께 일본의 3대 수출 규제 품목인 불화수소는 반도체와 디스플레이 생산 공정에서 사용되는 핵심소재로서 반도체 생산 공정에서 웨이퍼상에 불필요한 회로를 깎아내리거나 불순물을 화학적으로 떼어내는 세정에 사용되는 물질이다. 일본 기업이 세계 시장의 70%를 차지하고 있다.
삼성전자는 일본 정부의 수출 규제 직후 국내외 다양한 제품을 테스트해왔다. 당초 테스트 마무리까지 최대 6개월 이상이 걸릴 것으로 예상됐지만 조기에 완료된 것으로 보인다.

LG디스플레이는 국산 불화수소를 디스플레이 제조 공정에 투입했으며, 삼성디스플레이도 테스트 마무리 단계로 보인다. SK하이닉스는 대체 불화수소를 테스트하는 중으로 곧 양산에 곧 적용할 것으로 알려졌다.

/최남춘 기자 baikal@incheonilbo.com

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